Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов в Томске разработал линейку из трех зондовых станций, которые уже начали использоваться на российских предприятиях для контроля качества микроэлектронной продукции. Новые устройства, включая ручную OmegaAir-150COAX и полуавтоматические Terra-200 и Terra-200T, созданы как замена более дорогим зарубежным аналогам, сохраняя при этом все необходимые характеристики.
OmegaAir-150COAX предназначена для ручного контроля электрических величин полупроводниковых пластин в лабораторных условиях. Полуавтоматические станции Terra-200 и Terra-200T, в свою очередь, оптимизированы для проведения измерений и контроля электрических характеристик на неразделенных полупроводниковых пластинах в автоматическом режиме. Terra-200T отличается возможностью работы в широком температурном диапазоне от минус 55 до плюс 150 градусов Цельсия, что расширяет ее функционал для различных тестов.
Комплектация устройств включает не только сами станции, но и необходимые инструменты: микроскопы и манипуляторы для выполнения измерений. Полуавтоматическая версия также сопровождается специальным программным обеспечением, обеспечивающим высокую точность и надежность выполняемых тестов.
Разработка новых зондовых станций стала важным шагом в повышении конкурентоспособности российской микроэлектроники, позволяя производителям проводить качественный контроль без дополнительных затрат на импортное оборудование.